BS-4020A ટ્રિનોક્યુલર ઈન્ડસ્ટ્રીયલ વેફર ઈન્સ્પેક્શન માઈક્રોસ્કોપ
પરિચય
BS-4020A ઈન્ડસ્ટ્રીયલ ઈન્સ્પેક્શન માઈક્રોસ્કોપ ખાસ કરીને વિવિધ કદના વેફર્સ અને મોટા PCBના ઈન્સ્પેક્શન માટે તૈયાર કરવામાં આવ્યું છે. આ માઇક્રોસ્કોપ વિશ્વસનીય, આરામદાયક અને ચોક્કસ અવલોકનનો અનુભવ પ્રદાન કરી શકે છે. સંપૂર્ણ રીતે કરવામાં આવેલ માળખું, હાઇ-ડેફિનેશન ઓપ્ટિકલ સિસ્ટમ અને અર્ગનોમિકલ ઓપરેટિંગ સિસ્ટમ સાથે, BS-4020 વ્યાવસાયિક વિશ્લેષણને સાકાર કરે છે અને વેફર, FPD, સર્કિટ પેકેજ, PCB, સામગ્રી વિજ્ઞાન, ચોકસાઇ કાસ્ટિંગ, મેટલોસેરામિક્સ, ચોકસાઇ મોલ્ડ, સંશોધન અને નિરીક્ષણની વિવિધ જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે. સેમિકન્ડક્ટર અને ઇલેક્ટ્રોનિક્સ વગેરે.
1. પરફેક્ટ માઇક્રોસ્કોપિક લાઇટિંગ સિસ્ટમ.
માઈક્રોસ્કોપ કોહલર ઈલ્યુમિનેશન સાથે આવે છે, સમગ્ર જોવાના ક્ષેત્રમાં તેજસ્વી અને સમાન પ્રકાશ પ્રદાન કરે છે. ઇન્ફિનિટી ઓપ્ટિકલ સિસ્ટમ NIS45, ઉચ્ચ NA અને LWD ઉદ્દેશ્ય સાથે સંકલિત, સંપૂર્ણ માઇક્રોસ્કોપિક ઇમેજિંગ પ્રદાન કરી શકાય છે.
લક્ષણો
પ્રતિબિંબિત પ્રકાશનું તેજસ્વી ક્ષેત્ર
BS-4020A ઉત્તમ અનંત ઓપ્ટિકલ સિસ્ટમ અપનાવે છે. જોવાનું ક્ષેત્ર એકસમાન, તેજસ્વી અને ઉચ્ચ રંગ પ્રજનન ડિગ્રી સાથે છે. તે અપારદર્શક સેમિકન્ડક્ટર નમૂનાઓ અવલોકન કરવા માટે યોગ્ય છે.
શ્યામ ક્ષેત્ર
તે ડાર્ક ફિલ્ડ ઓબ્ઝર્વેશન પર હાઈ-ડેફિનેશન ઈમેજીસ અને કેરી-ઓન હાઈ સેન્સિટીવીટી ઈન્સ્પેકશન જેવી કે ઝીણી સ્ક્રેચ જેવી ખામીઓને સમજી શકે છે. તે ઉચ્ચ માંગ સાથે નમૂનાઓની સપાટી નિરીક્ષણ માટે યોગ્ય છે.
પ્રસારિત રોશનીનું તેજસ્વી ક્ષેત્ર
FPD અને ઓપ્ટિકલ તત્વો જેવા પારદર્શક નમૂનાઓ માટે, પ્રસારિત પ્રકાશના કન્ડેન્સર દ્વારા તેજસ્વી ક્ષેત્ર અવલોકન સાકાર કરી શકાય છે. તેનો ઉપયોગ DIC, સરળ ધ્રુવીકરણ અને અન્ય એસેસરીઝ સાથે પણ થઈ શકે છે.
સરળ ધ્રુવીકરણ
આ નિરીક્ષણ પદ્ધતિ ધાતુની પેશીઓ, ખનિજો, એલસીડી અને સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી જેવા બાયરફ્રિન્જન્સ નમૂનાઓ માટે યોગ્ય છે.
પ્રતિબિંબિત રોશની DIC
આ પદ્ધતિનો ઉપયોગ ચોકસાઇ મોલ્ડમાં નાના તફાવતો જોવા માટે થાય છે. અવલોકન તકનીક નાના ઊંચાઈના તફાવતને બતાવી શકે છે જે એમ્બોસમેન્ટ અને ત્રિ-પરિમાણીય છબીઓના સ્વરૂપમાં સામાન્ય અવલોકન રીતે જોઈ શકાતી નથી.
2. ઉચ્ચ ગુણવત્તાની અર્ધ-APO અને APO બ્રાઇટ ફિલ્ડ અને ડાર્ક ફિલ્ડ ઉદ્દેશ્યો.
મલ્ટિલેયર કોટિંગ ટેક્નોલોજી અપનાવીને, NIS45 સિરીઝ સેમી-APO અને APO ઑબ્જેક્ટિવ લેન્સ ગોળાકાર વિક્ષેપ અને અલ્ટ્રાવાયોલેટથી નજીકના ઇન્ફ્રારેડ સુધીના રંગીન વિકૃતિની ભરપાઈ કરી શકે છે. છબીઓની તીક્ષ્ણતા, રીઝોલ્યુશન અને રંગ પ્રસ્તુતિની ખાતરી આપી શકાય છે. વિવિધ મેગ્નિફિકેશન માટે ઉચ્ચ-રીઝોલ્યુશન અને ફ્લેટ ઇમેજ સાથેની છબી મેળવી શકાય છે.
3. ઓપરેટિંગ પેનલ માઇક્રોસ્કોપની આગળ છે, જે ચલાવવા માટે અનુકૂળ છે.
મિકેનિઝમ કંટ્રોલ પેનલ માઇક્રોસ્કોપની આગળ (ઓપરેટરની નજીક) સ્થિત છે, જે નમૂનાનું નિરીક્ષણ કરતી વખતે કામગીરીને વધુ ઝડપથી અને અનુકૂળ બનાવે છે. અને તે લાંબા સમય સુધી અવલોકન અને ચળવળની મોટી શ્રેણી દ્વારા લાવવામાં આવતી તરતી ધૂળને કારણે થતા થાકને ઘટાડી શકે છે.
4. એર્ગો ટિલ્ટિંગ ટ્રાઇનોક્યુલર વ્યુઇંગ હેડ.
એર્ગો ટિલ્ટિંગ વ્યુઇંગ હેડ અવલોકનને વધુ આરામદાયક બનાવી શકે છે, જેથી લાંબા સમય સુધી કામ કરવાના કારણે સ્નાયુઓમાં તણાવ અને અસ્વસ્થતાને ઘટાડી શકાય.
5. નીચા હાથની સ્થિતિ સાથે સ્ટેજનું ફોકસીંગ મિકેનિઝમ અને ફાઇન એડજસ્ટમેન્ટ હેન્ડલ.
સ્ટેજનું ફોકસિંગ મિકેનિઝમ અને ફાઇન એડજસ્ટમેન્ટ હેન્ડલ લો હેન્ડ પોઝિશન ડિઝાઇનને અપનાવે છે, જે એર્ગોનોમિક ડિઝાઇનને અનુરૂપ છે. વપરાશકર્તાઓને સંચાલન કરતી વખતે હાથ ઉંચા કરવાની જરૂર નથી, જે સૌથી વધુ આરામદાયક લાગણી આપે છે.
6. સ્ટેજમાં બિલ્ટ-ઇન ક્લચિંગ હેન્ડલ છે.
ક્લચિંગ હેન્ડલ સ્ટેજના ઝડપી અને ધીમા મૂવમેન્ટ મોડને સમજી શકે છે અને મોટા વિસ્તારના નમૂનાઓ ઝડપથી શોધી શકે છે. સ્ટેજના ફાઇન એડજસ્ટમેન્ટ હેન્ડલનો સહ-ઉપયોગ કરતી વખતે નમૂનાઓને ઝડપથી અને સચોટ રીતે શોધવાનું હવે મુશ્કેલ રહેશે નહીં.
7. મોટા વેફર્સ અને PCB માટે મોટા સ્ટેજ (14”x 12”) નો ઉપયોગ કરી શકાય છે.
માઈક્રોઈલેક્ટ્રોનિક્સ અને સેમિકન્ડક્ટર સેમ્પલના વિસ્તારો, ખાસ કરીને વેફર, મોટા હોય છે, તેથી સામાન્ય મેટાલોગ્રાફિક માઈક્રોસ્કોપ સ્ટેજ તેમની અવલોકન જરૂરિયાતોને પૂરી કરી શકતું નથી. BS-4020A મોટી ચળવળ શ્રેણી સાથે મોટા કદના સ્ટેજ ધરાવે છે, અને તે અનુકૂળ અને ખસેડવા માટે સરળ છે. તેથી મોટા વિસ્તારના ઔદ્યોગિક નમૂનાઓના માઇક્રોસ્કોપિક અવલોકન માટે તે એક આદર્શ સાધન છે.
8. 12” વેફર્સ ધારક માઈક્રોસ્કોપ સાથે આવે છે.
આ માઈક્રોસ્કોપ વડે 12” વેફર અને નાની સાઈઝની વેફર જોઈ શકાય છે, ઝડપી અને ઝીણી મૂવમેન્ટ સ્ટેજ હેન્ડલ સાથે, તે કામ કરવાની ક્ષમતામાં ઘણો સુધારો કરી શકે છે.
9. એન્ટિ-સ્ટેટિક રક્ષણાત્મક કવર ધૂળ ઘટાડી શકે છે.
ઔદ્યોગિક નમૂનાઓ તરતી ધૂળથી દૂર હોવા જોઈએ, અને થોડી ધૂળ ઉત્પાદનની ગુણવત્તા અને પરીક્ષણ પરિણામોને અસર કરી શકે છે. BS-4020A એન્ટી-સ્ટેટિક પ્રોટેક્ટિવ કવરનો મોટો વિસ્તાર ધરાવે છે, જે તરતી ધૂળ અને પડતી ધૂળથી બચાવી શકે છે જેથી નમૂનાઓને સુરક્ષિત કરી શકાય અને પરીક્ષણ પરિણામ વધુ સચોટ બને.
10. લાંબા સમય સુધી કાર્યકારી અંતર અને ઉચ્ચ NA ઉદ્દેશ્ય.
સર્કિટ બોર્ડના નમૂનાઓ પરના ઇલેક્ટ્રોનિક ઘટકો અને સેમિકન્ડક્ટરની ઊંચાઈમાં તફાવત છે. તેથી, આ માઇક્રોસ્કોપ પર લાંબા કાર્યકારી અંતરના ઉદ્દેશો અપનાવવામાં આવ્યા છે. દરમિયાન, રંગ પ્રજનન પર ઔદ્યોગિક નમૂનાઓની ઉચ્ચ આવશ્યકતાઓને સંતોષવા માટે, મલ્ટિલેયર કોટિંગ ટેકનોલોજી વિકસાવવામાં આવી છે અને વર્ષોથી તેમાં સુધારો કરવામાં આવ્યો છે અને ઉચ્ચ NA સાથે BF&DF સેમી-APO અને APO ઉદ્દેશ્ય અપનાવવામાં આવ્યા છે, જે નમૂનાઓના વાસ્તવિક રંગને પુનઃસ્થાપિત કરી શકે છે. .
11. વિવિધ નિરીક્ષણ પદ્ધતિઓ વિવિધ પરીક્ષણ આવશ્યકતાઓને પૂરી કરી શકે છે.
| રોશની | તેજસ્વી ક્ષેત્ર | ડાર્ક ફિલ્ડ | ડીઆઈસી | ફ્લોરોસન્ટ લાઇટ | પોલરાઇઝ્ડ લાઇટ |
| પ્રતિબિંબિત રોશની | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| પ્રસારિત રોશની | ○ | - | - | - | ○ |
અરજી
BS-4020A ઔદ્યોગિક નિરીક્ષણ માઈક્રોસ્કોપ એ વિવિધ કદના વેફર્સ અને મોટા PCBના નિરીક્ષણ માટે એક આદર્શ સાધન છે. આ માઈક્રોસ્કોપનો ઉપયોગ યુનિવર્સિટીઓ, ઈલેક્ટ્રોનિક્સ અને ચિપ્સ ફેક્ટરીઓમાં વેફર્સ, એફપીડી, સર્કિટ પેકેજ, પીસીબી, મટીરિયલ સાયન્સ, પ્રિસિઝન કાસ્ટિંગ, મેટાલોસેરામિક્સ, પ્રિસિશન મોલ્ડ, સેમિકન્ડક્ટર અને ઈલેક્ટ્રોનિક્સ વગેરેના સંશોધન અને નિરીક્ષણ માટે થઈ શકે છે.
સ્પષ્ટીકરણ
| વસ્તુ | સ્પષ્ટીકરણ | BS-4020A | BS-4020B | |
| ઓપ્ટિકલ સિસ્ટમ | NIS45 અનંત રંગ સુધારેલ ઓપ્ટિકલ સિસ્ટમ (ટ્યુબ લંબાઈ: 200mm) | ● | ● | |
| વ્યુઇંગ હેડ | એર્ગો ટિલ્ટિંગ ટ્રિનોક્યુલર હેડ, એડજસ્ટેબલ 0-35° વળેલું, ઇન્ટરપ્યુપિલરી અંતર 47mm-78mm; સ્પ્લિટિંગ રેશિયો આઈપીસ: ટ્રિનોક્યુલર = 100:0 અથવા 20:80 અથવા 0:100 | ● | ● | |
| સીડેન્ટોફ ટ્રાઇનોક્યુલર હેડ, 30° વળેલું, ઇન્ટરપ્યુપિલરી અંતર: 47mm-78mm; સ્પ્લિટિંગ રેશિયો આઈપીસ: ટ્રિનોક્યુલર = 100:0 અથવા 20:80 અથવા 0:100 | ○ | ○ | ||
| સીડેન્ટોફ બાયનોક્યુલર હેડ, 30° વળેલું, ઇન્ટરપ્યુપિલરી અંતર: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
| આઈપીસ | સુપર વાઈડ ફીલ્ડ પ્લાન આઈપીસ SW10X/25mm, ડાયોપ્ટર એડજસ્ટેબલ | ● | ● | |
| સુપર વાઈડ ફીલ્ડ પ્લાન આઈપીસ SW10X/22mm, ડાયોપ્ટર એડજસ્ટેબલ | ○ | ○ | ||
| એક્સ્ટ્રા વાઈડ ફીલ્ડ પ્લાન આઈપીસ EW12.5X/17.5mm, ડાયોપ્ટર એડજસ્ટેબલ | ○ | ○ | ||
| વાઈડ ફીલ્ડ પ્લાન આઈપીસ WF15X/16mm, ડાયોપ્ટર એડજસ્ટેબલ | ○ | ○ | ||
| વાઈડ ફીલ્ડ પ્લાન આઈપીસ WF20X/12mm, ડાયોપ્ટર એડજસ્ટેબલ | ○ | ○ | ||
| ઉદ્દેશ્ય | NIS45 અનંત LWD પ્લાન સેમી-APO ઉદ્દેશ્ય (BF અને DF), M26 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ● | ● |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ● | ● | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ● | ● | ||
| NIS45 Infinite LWD પ્લાન APO ઉદ્દેશ્ય (BF & DF), M26 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ● | ● | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ● | ● | ||
| NIS60 Infinite LWD પ્લાન સેમી-APO ઉદ્દેશ્ય (BF), M25 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ○ | ○ | |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ○ | ○ | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ○ | ○ | ||
| NIS60 Infinite LWD પ્લાન APO ઉદ્દેશ્ય (BF), M25 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ○ | ○ | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ○ | ○ | ||
| નોઝપીસ | બેકવર્ડ સેક્સટ્યુપલ નોઝપીસ (ડીઆઈસી સ્લોટ સાથે) | ● | ● | |
| કન્ડેન્સર | LWD કન્ડેન્સર NA0.65 | ○ | ● | |
| પ્રસારિત રોશની | ઓપ્ટિકલ ફાઇબર લાઇટ ગાઇડ સાથે 40W LED પાવર સપ્લાય, તીવ્રતા એડજસ્ટેબલ | ○ | ● | |
| પ્રતિબિંબિત રોશની | પ્રતિબિંબિત લાઇટ 24V/100W હેલોજન લેમ્પ, કોહલર લાઇટ, 6 પોઝિશન ટરેટ સાથે | ● | ● | |
| 100W હેલોજન લેમ્પ હાઉસ | ● | ● | ||
| 5W LED લેમ્પ સાથે પ્રતિબિંબિત પ્રકાશ, કોહલર લાઇટિંગ, 6 પોઝિશન ટરેટ સાથે | ○ | ○ | ||
| BF1 તેજસ્વી ક્ષેત્ર મોડ્યુલ | ● | ● | ||
| BF2 તેજસ્વી ક્ષેત્ર મોડ્યુલ | ● | ● | ||
| ડીએફ ડાર્ક ફીલ્ડ મોડ્યુલ | ● | ● | ||
| બિલ્ટ-ઇન ND6, ND25 ફિલ્ટર અને રંગ સુધારણા ફિલ્ટર | ○ | ○ | ||
| ECO કાર્ય | ECO બટન સાથે ECO કાર્ય | ● | ● | |
| ફોકસીંગ | લો-પોઝિશન કોએક્સિયલ બરછટ અને ફાઇન ફોકસિંગ, ફાઇન ડિવિઝન 1μm, મૂવિંગ રેન્જ 35mm | ● | ● | |
| સ્ટેજ | ક્લચિંગ હેન્ડલ સાથે 3 સ્તરો મિકેનિકલ સ્ટેજ, કદ 14”x12” (356mmx305mm); મૂવિંગ રેન્જ 356mmX305mm; પ્રસારિત પ્રકાશ માટે લાઇટિંગ વિસ્તાર: 356x284mm. | ● | ● | |
| વેફર ધારક: 12” વેફર રાખવા માટે વાપરી શકાય છે | ● | ● | ||
| ડીઆઈસી કીટ | પ્રતિબિંબિત રોશની માટે DIC કિટ (10X, 20X, 50X, 100X ઉદ્દેશ્યો માટે વાપરી શકાય છે) | ○ | ○ | |
| પોલરાઇઝિંગ કિટ | પ્રતિબિંબિત રોશની માટે પોલરાઇઝર | ○ | ○ | |
| પ્રતિબિંબિત રોશની માટે વિશ્લેષક, 0-360° રોટેટેબલ | ○ | ○ | ||
| પ્રસારિત રોશની માટે પોલરાઇઝર | ○ | ○ | ||
| પ્રસારિત રોશની માટે વિશ્લેષક | ○ | ○ | ||
| અન્ય એસેસરીઝ | 0.5X સી-માઉન્ટ એડેપ્ટર | ○ | ○ | |
| 1X સી-માઉન્ટ એડેપ્ટર | ○ | ○ | ||
| ડસ્ટ કવર | ● | ● | ||
| પાવર કોર્ડ | ● | ● | ||
| માપાંકન સ્લાઇડ 0.01 મીમી | ○ | ○ | ||
| સ્પેસીમેન પ્રેસર | ○ | ○ | ||
નોંધ: ● માનક પોશાક, ○ વૈકલ્પિક
નમૂનાની છબી
પરિમાણ
એકમ: મીમી
સિસ્ટમ ડાયાગ્રામ
પ્રમાણપત્ર
લોજિસ્ટિક્સ
